寶德8715型調節侵蝕性氣體質量流量調節器是一臺用于調節侵蝕性氣體質量流量的裝置，它需要一個與介質相分離的傳感器。在數字的電子調節設備中，會將傳感器提供的實際值與規定的額定值進行比較；存在調節偏差時，會通過一種 PI 調節算法對發送到比例閥上的調節參數進行修改。這樣一來，就可以將質量流量保持在一個確定的數值上，或使其遵循規定的曲線輪廓，而不會受到壓力波動或設備中其他變化的影響。 可針對兩種不同的氣體對型號 8715 進行校準，用戶可在兩者之間進行轉換。一個直動式比例閥作為調節元件，確保了高反應靈敏度和裝置良好的調節特性。通過數字方式與更高一級的設備進行通訊，這樣一來，就可以省去額外的 D/A 轉換。

寶德8715型調節侵蝕性氣體質量流量調節器主要特點：

采用毛細管技術的旁通儀器，適合額定流量范圍 5 mlN/min 至 15 lN/min
適合侵蝕性氣體
緊湊型版本和數字通訊

技術數據：
滿量程范圍：5至15000毫升/分鐘2;N2當量
控制范圍：1：50
操作氣體：中性或腐蝕性氣體
校準氣體：使用轉換因子操作氣體或空氣
大操作壓力（進口壓力）：10巴，取決于閥門的孔口
介質溫度：-10至+ 70℃（氧氣為-10至+60℃）
環境溫度：-10至+ 50°C 3），其他要求
準確度：±1.5％o.R。±0.3％F.S。（30分鐘預熱時間后）
重復性：±0.1％F.S。
建立時間：<3秒。
電源：24 V DC
電壓容差：±10％
殘余波紋：<2％
功耗：3.5-11.5 W（取決于比例閥）

基于旁路原理：
主通道中的層流元件產生小的壓降。這通過旁路（傳感器管）驅動與主流成比例的小流量，兩個連接在測量橋上的加熱電阻受到不銹鋼管的影響。在零流量狀態下，橋是平衡的，但是隨著流量的增加，熱量沿流動方向傳輸，橋變得不平衡。測量的動態受到作為熱障的管壁的限制。通過在控制器中使用合適的軟件，可以獲得適用于各種應用的響應時間（在幾秒鐘的范圍內）。對于受污染的氣體，我們建議在上游安裝過濾器元件。這樣就避免了主流和傳感管之間的分配比例的變化，以及由于傳感器管壁上的沉積而導致的傳熱變化。通過這些傳感器，甚至可以控制侵蝕性氣體，因為所有與氣體接觸的主要部分都是用不銹鋼鋼。